HTC Pendulum Valve
공정 챔버와 터보 분자 펌프 입구 사이에 다는 대형 펜듈럼 밸브입니다. ISO200, ISO250, ISO320 플랜지가 있고 공압, 3-Position, APC로 구동하며 OLED·FPD·PV 장비에 씁니다.
| 몸체 재질 | A6061-T6 |
| 접속 방식 | ISO200/ISO250/ISO320 플랜지 |
| 사용 압력 | 1×10-8 mbar ~ 1.2 bar |
| 사용 온도(베이크) | 몸체 ≤120℃, 액추에이터 ≤80℃, 솔레노이드밸브 ≤50℃ |
| 시트 재질 | FKM O-ring (게이트/본넷) |
| 구동 방식 | 전공식 |