HTC Vacuum Butterfly Valve
원판(디스크)을 돌려 진공 배관을 차단하거나 유량을 조절하는 버터플라이 밸브입니다. 무게가 가벼워 받침이 덜 필요하고 빠르게 열고 닫힙니다. 수동, 공압, 전동 구동이 있으며 공압형은 펌프와 공정 챔버 사이에서 FPD·반도체·PVD 공정의 차단 밸브로 씁니다. 완전히 열면 디스크가 몸체 밖으로 나오므로 설치 전에 이어지는 관의 최소 안지름을 확인해야 합니다.
| 구동 방식 | 수동, 공압, 전동 |
| 재질 | 몸체·플레이트·샤프트 SS304, 게이트 씰·샤프트 씰 FKM (공압형) |
| 설치 방향 | 제한 없음 |
| 사이클 수명 | KF25~KF50 1,500,000회, ISO63~ISO160 1,500,000회, ISO200~ISO250 1,000,000회 |
| 플레이트 오링 수명 | KF25~KF50 250,000회, ISO63~ISO160 250,000회, ISO200~ISO250 200,000회 |
| 헬륨 누설률 | 1×10⁻⁹ mbar·l/s 미만 (1 atm 차압) |
| 압력 범위 | 1×10⁻⁸ mbar ~ 2 bar (양방향) |
| 허용 차압 | 2 bar 이하 (양방향) |
| 개방 시 최대 차압 | 1 bar 미만 |
| 공압 연결구 | KF25~ISO63 2×1/8" NPT, ISO100~ISO250 2×1/4" NPT |
| 공급 공기 압력 | 4 ~ 6 bar |
| 무게 | KF25 1.3 kg, KF40 2.3 kg, KF50 2.6 kg, ISO63 4.2 kg, ISO100 5.2 kg, ISO160 9.8 kg, ISO200 17.8 kg, ISO250 15.1 kg |
| 비고 | 사이클 수명은 25 ℃ 깨끗한 환경, 개방 차압 10 mbar 미만 기준 |