INFICON VSD200 Vacuum Switch
VSD200은 대기압을 기준으로 압력 차이를 감지하는 차압형 진공 스위치입니다. 전체를 스테인리스로 만들어 부식에 강하고 대기압 감지와 펌프·밸브·가스 공급 연동에 씁니다.
| 차동범위(VSD200) | -100…+50 Torr/mbar |
| 설정범위 | -99 … +46 Torr/mbar |
| 허용 압력 (절대) | 2 bar |
| 설정 정확도 | 0.5 % FS |
| 히스테리시스 | 2 % FS |
| 응답 시간 | ≤45 ms |
| 릴레이 | 30 V/1 A (dc), 125 V/0.3 A (ac) |
| 공급 전압 | 14 … 30 V (dc) |
| 사용 온도 | 0 … 70 °C |
| 무게 | 140 g |
| 보호 등급 | IP 40 |