HTC 펜듈럼 밸브 APC, 챔버 압력 제어와 차단을 한 몸체로

한눈에 보기

제품: HTC(대만 Highlight Tech Corp.) 펜듈럼 밸브 APC형

설치 위치: 공정 챔버와 터보분자펌프 사이, 압력 제어와 완전 차단 겸용

적용 공정: 식각, CVD 등 반도체, 디스플레이, 태양전지 제조 장비

구경과 제어: ISO-F 200·250·320, 스텝모터 구동, RS232(RS485 옵션)

종류: APC형, 3포지션, 공압식(복동과 단동)

안녕하세요, 밸브파크입니다.

HTC 펜듈럼 밸브 APC형은 식각·증착 공정 챔버와 터보분자펌프(고진공 펌프) 사이에서 챔버 압력 제어와 완전 차단을 함께 맡는 대형 진공 밸브입니다.

구경은 ISO-F 200·250·320이며 스텝모터와 전용 컨트롤러로 압력 제어 모드와 위치 제어 모드로 운전합니다.

펜듈럼 밸브가 쓰이는 공정과 선정 상황

펜듈럼 밸브는 챔버로 넣는 가스량은 그대로 두고 배기 쪽에서 압력을 맞추는 밸브입니다.

식각과 CVD(화학 기상 증착)는 압력이 정해진 값 근처에 있어야 공정이 안정되고, ALD(원자층 증착)는 가스를 바꿔 넣는 단계마다 압력을 다시 맞춰야 합니다. 그래서 모두 챔버와 펌프 사이에 압력 제어 밸브를 둡니다.

HTC는 반도체, 디스플레이(OLED, FPD), 태양전지 제조 장비를 적용 분야로 듭니다.

펜듈럼 밸브를 선정하는 상황은 네 가지입니다.

1️⃣ 가스 유량과 챔버 압력을 따로 정해야 할 때: 공정에 맞는 가스량과 압력이 같은 조건에서 나오지 않는 공정에 적용합니다.

2️⃣ 펌프를 켠 채 챔버를 열어야 할 때: 밸브를 완전히 닫아 챔버와 펌프를 분리하면 펌프를 세우지 않고 챔버를 대기로 열어 정비할 수 있습니다.

3️⃣ 큰 배기 통로가 필요할 때: 완전히 열면 판이 통로 밖으로 비켜 있어 8인치에서 12인치까지의 큰 포트에서도 배기 속도 손실을 줄입니다.

4️⃣ 부산물이 많거나 부식성 가스를 쓰는 공정: 부산물이 밸브 안쪽에 응축되지 않게 가열하는 히터 옵션과, 표면을 단단하게 처리한 하드 아노다이징 몸체를 선택합니다.

위에서부터 가스가 들어오는 공정 챔버, 컨트롤러와 압력계 신호선을 단 펜듈럼 밸브, 터보분자펌프, 드라이 펌프

식각과 CVD 장비용, 펌프 앞 압력 제어

판이 호를 그리며 들어와 눌러 막는 동작 원리

게이트 밸브(차단용)와 스로틀 밸브(압력 조절용)의 구분, 자동 압력 제어(APC)의 기본 동작은 진공 연재 2편에서 다뤘습니다. 펜듈럼 밸브는 이 두 역할을 한 밸브가 맡는 형식입니다.

▸ 함께 읽기: 게이트 밸브와 스로틀 밸브 차이, 챔버 압력 제어 정리 (반도체 진공시스템 2편)

일반적인 펜듈럼 밸브는 두 단계로 동작합니다. 먼저 둥근 판(게이트)이 암에 매달려 진자처럼 호를 그리며 배기 통로 앞으로 들어옵니다. 개구부 정면에 오면 판을 시트(밀봉면) 쪽으로 눌러 O-링으로 막는 방식이 일반적입니다.

위쪽은 위에서 본 판의 위치, 아래쪽은 옆에서 본 단면 개념도이며 왼쪽부터 열림, 압력 제어, 닫힘 순서

1️⃣ 열림: 판이 개구부에서 완전히 비켜 있어 통로가 막히지 않습니다.

2️⃣ 압력 제어: 판이 시트에 닿지 않은 채 호를 따라 조금씩 움직여 개구부를 가리는 면적을 바꾸고, 그만큼 배기 속도가 달라집니다.

3️⃣ 닫힘: 판이 개구부 정면에서 시트로 눌려 챔버와 펌프 사이를 완전히 막습니다.

HTC는 저진동, 저분진, 쉬운 분해를 이 밸브의 특징으로 듭니다. 펜듈럼식은 축이 회전 운동만 하는 구조라 축을 따라 진공 쪽으로 기체가 넘어올 경로가 적다고 알려져 있습니다.

APC형은 컨트롤러가 압력계 신호를 읽고 스텝모터가 판 위치를 옮깁니다. 같은 가스 유량에서 같은 압력을 맞추는데 밸브가 점점 더 열린다면 펌프 성능이 떨어지고 있다는 신호로 읽을 수 있습니다.

APC형 사양과 종류별 차이

APC형은 밸브 옆면에 전용 컨트롤러가 붙은 구성입니다.

플랜지 면과 파란 컨트롤러가 함께 보이는 APC형 펜듈럼 밸브

컨트롤러 단자는 전원, 센서, 인터페이스, 서비스, 상태 표시로 나뉩니다. 전원은 24VDC, 센서는 압력계 입력, 인터페이스는 RS232(RS485 옵션), 서비스는 USB 연결용입니다.

윗면에 Display, Service, Interface, Sensor, Power 단자가 있는 APC 컨트롤러

컴퓨터용 소프트웨어에서는 압력 제어와 위치 제어 모드, 게인(제어 반응의 세기), 개폐 속도, 정전 보호를 설정하고 사이클과 운전 시간을 확인합니다.

제조사 카탈로그 기준 사양을 정리했습니다.

구동과 제어: 스텝모터, 위치 분해능 8,000스텝, 제어 정확도 센서 최대 범위의 0.1%

입출력: 센서 입력 0~10V 2채널, 아날로그 출력 0~10V 2채널, 전원 24VDC(소비 전력 150W)

재질과 씰: 몸체와 판은 알루미늄 A6061-T6, 판과 보닛 O-링은 Viton(FKM)

알루미늄 몸체: 헬륨 누설률 1×10⁻⁹ mbar·L/s 미만(차압 1 atm), 사용 압력 1×10⁻⁸ mbar~1.2 bar

하드 아노다이징 몸체: 헬륨 누설률 1×10⁻⁵ mbar·L/s 미만(차압 1 atm), 사용 압력 1×10⁻⁶ mbar~1.2 bar

차압 조건: 최대 차압 1.2 bar, 열 때 차압 5 mbar 이하

베이크: 몸체 120℃ 이하, 액추에이터 70℃ 이하

수명: 개폐 200,000회, 압력 제어 사용 1,000,000회

옵션: 히터(하드 아노다이징형은 단열 포함)

알루미늄 몸체와 하드 아노다이징 몸체는 누설률 사양이 다릅니다. 하드 아노다이징 몸체는 누설률 값이 네 자릿수 크고 사용 압력 하한도 높습니다. 초고진공이 필요하거나 베이크를 120℃보다 높게 해야 하는 조건은 사양 확인이 먼저입니다.

구경별 접속 치수와 무게는 아래 표와 같으며 기존 장비와 맞는지는 포트 직경과 볼트 원 지름(PCD, 볼트 구멍이 놓인 원의 지름)부터 대조해 볼 수 있습니다.

ISO-F 200(8인치): 포트 직경 200 mm, 플랜지 외경 300 mm, 볼트 원 지름 260 mm, 22 kg

ISO-F 250(10인치): 포트 직경 254 mm, 플랜지 외경 335 mm, 볼트 원 지름 310 mm, 31 kg

ISO-F 320(12인치): 포트 직경 318 mm, 플랜지 외경 428 mm, 볼트 원 지름 395 mm, 51 kg

APC형 외에 같은 구경의 3포지션과 공압식이 있고 두 종류는 압축공기 4~6 kg/cm²로 구동합니다.

APC형: 스텝모터와 전용 컨트롤러, 압력 제어와 위치 제어로 개도를 연속 조절

3포지션: 전기 공압 실린더, 열림과 닫힘에 더해 중간 위치 한 곳으로 압력을 한 단계 조절하며 리드 센서로 위치 확인

공압식 복동: 전기 공압 실린더, 열림과 닫힘 개폐용

공압식 단동: 전기 공압 실린더, 상시 닫힘 개폐용이며 ISO400 구경도 있음

플랜지 면 안쪽에 개구부를 덮은 판이 보이는 공압식 펜듈럼 밸브

개구부를 덮은 판과 구동부가 함께 보이는 3포지션 펜듈럼 밸브

연속 압력 제어는 APC형, 개폐는 공압식

공급처를 하나 더 두는 방법, 펜듈럼 밸브 이원화

펜듈럼 밸브는 공급 제조사가 소수에 집중돼 있어 한 공급처에만 의존하면 납기와 가격 조건을 고를 폭이 좁아집니다.

공급처를 둘로 나누는 이원화(세컨드 소스)는 한쪽 일정이 밀리거나 조건이 바뀔 때 다른 쪽으로 대응할 여지를 만듭니다.

HTC(Highlight Tech Corp.)는 1997년 대만에서 설립된 진공 밸브·챔버 제조사입니다. 품질, 환경, 안전보건 경영 인증인 ISO 9001, ISO 14001, ISO 45001을 받았고 밸브 수리 서비스도 운영합니다.

밸브파크가 공급하는 HTC 펜듈럼 밸브를 이원화 후보로 올릴 때는 납기, 가격 부담, 국내 대응을 함께 따져 볼 수 있습니다.

1️⃣ 납기: 짧은 편입니다.

2️⃣ 가격: 가격 부담이 낮아 비교 견적에 올리기 쉽습니다.

3️⃣ 국내 대응: 기술 상담, 수리, 소모품 교체를 밸브파크가 국내에서 맡습니다.

실제 납기와 가격은 구경, 사양, 수량에 따라 달라 견적에서 정해집니다.

공급처 이원화 후보, HTC 펜듈럼 밸브

자주 묻는 질문

Q. 쓰던 펜듈럼 밸브를 HTC 제품으로 그대로 교체할 수 있나요?

플랜지 규격과 볼트 원 지름이 같고 컨트롤러 통신 방식과 압력계 신호가 맞는 경우에 한해 교체를 검토할 수 있습니다. 밸브 길이, 컨트롤러 위치, 장비 쪽 제어 프로그램과의 통신은 도면과 사양을 받아 확인합니다. 같은 구경이어도 도면을 보기 전에는 교체 가능 여부를 단정할 수 없습니다.

Q. 공기나 전원이 끊기면 판은 어떻게 되나요?

단동식은 상시 닫힘 사양으로, 공기 공급이 없으면 닫힘 위치에 있습니다. APC형은 컨트롤러에 백업 전원이 있고 정전 보호를 소프트웨어에서 설정합니다.

Q. 압력계와 컨트롤러는 따로 준비해야 하나요?

컨트롤러는 밸브에 붙어 나오므로 따로 준비하지 않고, 압력계만 센서 포트 사양에 맞는 제품을 연결합니다. 출력이 0~10V 선형이고 24VDC 또는 ±15VDC(500 mA)의 센서 전원으로 구동되는 압력계는 연결할 수 있습니다.

Q. 수리를 맡길 때 무엇을 알려야 하나요?

구경, 컨트롤러 표시 상태, 증상, 지금까지의 개폐 횟수를 기준으로 씰(O-링) 교체 여부와 점검 방향을 정합니다.

견적 문의 준비 정보

밸브파크 추천 구성

아래 조건을 알려 주시면 사양 검토를 시작할 수 있습니다.

1️⃣ 구경: ISO-F 200·250·320 가운데 필요한 규격, 또는 포트 직경과 볼트 원 지름

2️⃣ 종류: APC형, 3포지션, 공압식(복동 또는 단동) 가운데 선택

3️⃣ 몸체와 옵션: 알루미늄 또는 하드 아노다이징, 히터 필요 여부

4️⃣ 제어: APC형이면 통신 방식(RS232 또는 RS485)과 압력계 신호, 공압식이면 공급 공기압

5️⃣ 공정 조건: 가스 종류와 온도, 필요한 베이크 온도, 공기나 전원이 끊길 때 필요한 판 위치

6️⃣ 수량과 희망 납기

사양표나 세부 자료가 필요한 경우 문의해 주시기 바랍니다.

펜듈럼 밸브 실물은 SEDEX 2026(10월 14일부터 16일까지, 코엑스 3층 D홀) D129 부스에서 볼 수 있습니다.

▸ 상품 보기: HTC 펜듈럼 밸브

HTC APC 펜듈럼 밸브 (스텝모터, ISO200·250·320)챔버 압력 제어와 차단을 함께 맡는 HTC APC 펜듈럼 밸브. 스텝모터, 일체형 컨트롤러, RS232(RS485 옵션), ISO200·250·320 플랜지.www.valvepark.com