진공 플랜지 KF·ISO·CF 차이와 고르는 법 (반도체 진공시스템 4편)

밸브와 펌프, 게이지는 모두 플랜지로 이어집니다. 연결 규격은 목표 압력과 베이크 온도로 고릅니다. 베이크는 진공 용기와 배관을 데워 표면에 붙은 가스를 빼내는 작업입니다. 4편에서는 KF, ISO, CF 세 가지 규격의 차이와 고르는 순서를 정리합니다.

PART 01

KF 플랜지는 어떻게 연결하나요?

센터링 링은 두 플랜지의 중심을 맞추고 O링 위치를 잡아 줍니다. 클램프는 윙 너트로 손으로 조였다 풀 수 있어서, 자주 분해하는 자리에 편합니다.

KF 연결 분해도. 두 플랜지 사이에 O링을 끼운 센터링 링을 두고, 힌지 클램프로 감싸 조입니다

PART 02

큰 배관에는 ISO-K와 ISO-F 중 무엇을 쓰나요?

ISO-K와 ISO-F 비교. 왼쪽 ISO-K는 클로 클램프 여러 개로, 오른쪽 ISO-F는 볼트로 두 플랜지를 조입니다

PART 03

초고진공에는 왜 CF 플랜지를 쓰나요?

CF 플랜지 밀봉 단면. 양쪽 플랜지의 칼날 모서리가 가운데 구리 개스킷을 파고들어 밀봉합니다

O링은 온도 한계가 있습니다. Viton(FKM)은 약 150 °C, 알루미늄 씰은 약 200 °C까지 버팁니다. 그러니 규격을 고를 때는 가열이 필요한지부터 정하면 됩니다.

KF 연결과 CF 연결 분해도. 위쪽 KF는 플랜지 사이에 O링이 낀 센터링 링을 두고 클램프 하나로 조이고, 아래쪽 CF는 구리 개스킷을 두 플랜지 사이에 끼워 볼트로 조입니다

▸ 배관 호칭과 베이크 온도를 알려 주시면 플랜지 규격과 씰 재질을 함께 맞춰 드립니다.

FAQ

자주 묻는 질문

Q. KF와 CF 플랜지는 뭐가 다른가요?

A. KF는 O링이 달린 센터링 링과 클램프로 잇고, 일반 가스 기준 80 °C 이하에서 러핑부터 고진공까지 씁니다. CF는 구리 개스킷을 쓰는 초고진공용이라 450 °C까지 베이크할 수 있고, 구리 링은 한 번 쓰면 바꿉니다.

Q. Viton O링은 몇 도까지 쓸 수 있나요?

A. 약 150 °C까지입니다. 그보다 높게 가열한다면 알루미늄 씰(약 200 °C)이나 CF의 구리 개스킷을 검토하세요.

Q. KF 크기는 어떻게 고르나요?

A. 배관 호칭(DN)에 맞춥니다. KF는 DN 10~50 범위이고, 그보다 크면 ISO-K나 ISO-F로 넘어갑니다.

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