Air operated valve for chemical liquids (for high pressure)
모델명: AMD※1H
반도체 제조 라인의 약액 배관에서 고압과 높은 배압에 대응하는 공압 구동 밸브입니다. 기본형의 사용 압력과 배압 범위는 모두 0 to 0.7 MPa입니다.
| 동작 방식 | NC (상시 닫힘) |
| 사용 유체 (제품 구성 재질·사용 유체·주위 환경의 적합성 확인) | 약액, 순수, 공기, N2 가스 |
| 유체 온도 (°C) | 5 ~ 40 |
| 내압력 (MPa) | 1.4 |
| 사용 압력 (A→B) (MPa) | 0 ~ 0.7 |
| 밸브 시트 누설량 (cm3/min) | 0 (수압) |
| 배압 (MPa) | 0 ~ 0.7 |
| 주위 온도 (°C) | 0 ~ 40 |
| 사용 빈도 | 분당 15회 이하 |
| 설치 방향 | 제한 없음 |
| 조작 압력 (MPa) | 0.5 ~ 0.7 |
| 조작 포트 | Rc1/8 |
| 질량 (kg): AMD41H | 0.56 |
| 질량 (kg): AMD51H | 1.1 |
| 질량 (kg): AMD61H | 1.3 |