INFICON Cube CDGsci Smart Capacitance Diaphragm Gauge
Cube CDGsci는 연구실과 교정 기준용으로 만든 가열형 정전용량 격막 진공게이지입니다. 세라믹 센서를 온도 제어해 값이 오래 흔들리지 않고 아날로그 출력과 RS232C·이더넷 통신을 갖췄습니다.
| 풀스케일 | 1000…100 / 10…1 / 0.1 Torr |
| 정확도 | 지시값의 0.025% (1000…1 Torr), 0.05% (0.1 Torr) |
| 최대 압력 (절대) | 3 bar (1000…100), 2 bar (10…1), 1.3 bar (0.1) |
| 공급 전압 | +14…+30 V(dc) or ±15V(±5%) |
| 보호 등급 | IP 40 |
| 사용 온도 (주변) | +10…+40 °C |
| 보관온도 | -10…+50 °C |
| 소비 전력 | 가열시 ≤20 W, 동작온도 ≤17 W |
| 응답 시간 | 350 ms |
| 무게 | 1760…1803 g |
| 진공 접촉 재질 | 세라믹(Al₂O₃), stainless steel (AISI 316L) |