INFICON Stripe CDG100Dhs Heated Capacitance Diaphragm Gauge
Stripe CDG100Dhs는 응답 시간이 2 ms보다 짧은 고속 가열형 정전용량 격막 진공게이지입니다. EtherCAT 통신을 갖추고 센서를 가열해 ALD, PVD, CVD, 식각 같은 고온 공정에 씁니다.
| 풀스케일 | 1000/1100 / 500…1 / 0.5…0.1 Torr/mbar |
| 정확도 | 0.2% of reading (1000/1100, 500…1 구간) / 0.4%(0.5…0.1) |
| 응답 시간 | 2…20 ms |
| 공급 전압 | +14…+30 V(dc) or ±15V(±5%) |
| 보호 등급 | IP 30 |
| 사용 온도 | +10…+50℃ |
| 베이크아웃 | ≤110℃ |
| 보관온도 | -20…+85℃ |
| 소비 전력 | 가열중 ≤16 W, 운전중 ≤11 W |
| 무게 | 962…1019 g |
| 진단포트 | USB |
| 통신 | EtherCAT |