INFICON Spot CDS500D Capacitance Diaphragm Gauge
Spot CDS500D는 진공 장비 안의 좁은 자리에 넣어 쓰는 소형 세라믹 정전용량 격막 센서입니다. SPI 디지털 신호를 내보내고 응답이 빠르며 반복해 재도 값이 고르고 오래 써도 흔들림이 적습니다.
| 풀스케일 | 1000 / 300 / 100 / 30 / 10 Torr |
| 측정 범위 | 0.1 … 100 % FS |
| 정확도 | 지시값의 0.5 % |
| 사용 온도 (동작) | 0 … 60 °C |
| 최대 압력 (절대) | 400 kPa |
| 공급 전압 | 5 ± 0.25 V (dc) |
| 인터페이스(디지털) | SPI |
| 응답 시간 | 2 ms (10 … 90%) |
| 진공 접촉 재질 | 세라믹 (Al₂O₃), AISI 316L |
| 장기 안정성 | 0.5% FS/년 |
| 보상온도범위 | 10…50 °C |
| 보관온도 | -20…80 °C |
| 파열압력(절대) | 800 kPa |
| 소비 전력 | <0.05 W (동작) |
| 누설률 | <1 E-9 mbar l/s |
| 치수(참고) | 25.5 x 20.5 x 28 mm |