INFICON SKY CDG025D Capacitance Diaphragm Gauge
SKY CDG025D는 상온에서 쓰는 온도 보상형 정전용량 격막 진공게이지입니다. 내식성 세라믹 센서가 수백만 번의 압력 변화에도 영점을 지키고 전원을 켜면 빨리 안정되어 반도체 장비에 씁니다.
| 풀스케일 | 1000/1100…200 / 100…5 / 2…0.5 / 0.25 / 0.1 Torr/mbar |
| 정확도 | 지시값의 0.2 % (1000/1100...200, 100...5, 2...0.5) / 지시값의 0.25 % (0.25) / 지시값의 0.5 % (0.1) |
| 공급 전압 | +14…+30 V (dc) |
| 전기 접속 | D-sub, 15핀, 수 |
| 보호 등급 | IP 30 |
| 사용 온도 | +5…+50℃ |
| 베이크아웃 | 플랜지, 비작동 ≤110℃ |
| 보관온도 | -40…+65℃ |
| 응답 시간 | 30 ms (1000/1100…0.25), 130 ms (0.1) |
| 무게 | 285…342 g |