INFICON SKY CDG025D-X3 정전용량 격막 진공게이지 (3-in-1)

INFICON SKY CDG025D-X3 Capacitance Diaphragm Gauge

SKY CDG025D-X3는 상온에서 쓰는 온도 보상형 정전용량 격막 진공게이지입니다. 내식성 세라믹 센서를 이중으로 보호해 오염에 강하고 설정값 2개와 RS232 통신을 갖췄습니다.

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사양

풀스케일1000/1100…200 / 100…5 / 2…0.5 / 0.25 / 0.1 Torr/mbar
정확도0.2% of reading (1000/1100…200, 100…5, 2…0.5 구간) / 0.25%(0.25) / 0.5%(0.1)
공급 전압+14…+30 V(dc)
전기 접속D-Sub, 15핀, 수
보호 등급IP 30
사용 온도+5…+50℃
베이크아웃플랜지, 비작동 ≤110℃
보관온도-20…+65℃
응답 시간30 ms (1000/1100…0.25), 130/30 ms (0.1, 후자는 압력제어형만)
무게285…342 g
설정점2개