INFICON SKY CDG100D Capacitance Diaphragm Gauge
SKY CDG100D는 센서를 100°C로 가열해 공정 부산물이 쌓이지 않게 한 정전용량 격막 진공게이지입니다. 내식성 세라믹 격막으로 식각·증착 같은 반도체 공정과 플라스마 공정에 씁니다.
| 풀스케일 | 1000/1100…200 / 100…1 / 0.5…0.25 / 0.1 Torr/mbar |
| 정확도 | 0.2% of reading (FS 1000/1100…200 및 100…1) / 0.4% of reading (FS 0.5…0.25 및 0.1) |
| 공급 전압 | +14…+30 V(dc) or ±15V(±5%) |
| 보호 등급 | IP 40 |
| 사용 온도 (동작) | +10…+50°C |
| 전기 접속 | D-sub 15핀 수 (2SP) |
| 베이크아웃 | ≤110℃ |
| 보관온도 | -20…+65℃ |
| 소비 전력 | 가열중 ≤15 W, 운전중 ≤10 W |
| 무게 | 892…964 g |
| 인터페이스 | DeviceNet, Profibus DP, PROFINET, EtherCAT, 4-20mA (옵션) |
| 주의 | 주변온도 40℃ 초과 시 표면온도가 SEMI S2를 넘을 수 있음 |