INFICON SKY CDG045D Capacitance Diaphragm Gauge
SKY CDG045D는 센서를 45°C로 가열해 값을 고르게 유지하는 정전용량 격막 진공게이지입니다. 내식성 세라믹 격막을 쓰고 가스 종류와 관계없이 압력을 읽어 반도체 공정과 기준 측정에 씁니다.
| 풀스케일 | 1000/1100…200 / 100…1 / 0.5…0.25 / 0.1…0.05 Torr/mbar |
| 정확도 | 지시값의 0.15% |
| 공급 전압 | +14…+30 V(dc) or ±15V(±5%) |
| 보호 등급 | IP 40 |
| 사용 온도 (동작) | +10…+40°C |
| 베이크아웃 | ≤110℃ |
| 보관온도 | -20…+65℃ |
| 소비 전력 | 가열중 ≤12 W, 운전중 ≤8 W |
| 무게 | 870…942 g |
| 인터페이스 | DeviceNet, Profibus DP, PROFINET, EtherCAT, 4-20mA (옵션) |