INFICON SKY CDG160D Capacitance Diaphragm Gauge
SKY CDG160D는 센서를 160°C로 가열해 공정 부산물이 쌓이지 않게 한 정전용량 격막 진공게이지입니다. 내식성 세라믹 격막을 써서 식각·증착 같은 반도체 공정과 부식성 고온 공정에 맞습니다.
| 정확도 | 지시값의 0.4% |
| 공급 전압 | +21…+30 V (dc) or ±15 V (±5%) |
| 베이크아웃(flange) | ≤200°C |
| 보호 등급 | IP 40 |
| 전기 접속 | D-Sub, 15핀, 수 |
| 풀스케일 | 1000/1100…200, 100…1 Torr/mbar |
| 사용 온도 | +10…+50℃ |
| 보관온도 | -20…+65℃ |
| 소비 전력 | 가열중 ≤18 W, 운전중 ≤12 W |
| 무게 | 891…964 g |