INFICON Edge CDG100D2 Heated Capacitance Diaphragm Gauge
Edge CDG100D2는 크기가 작은 가열형 정전용량 격막 진공게이지입니다. 센서 보호막이 공정 부산물을 막고 겉면은 뜨겁지 않아 CVD·식각·PVD 반도체 공정에 씁니다.
| 풀스케일 | 1000/1100…200 / 100…1 Torr/mbar |
| 정확도 | 지시값의 0.2% |
| 공급 전압 | +14…+30 V(dc) or ±15V(±5%) |
| 보호 등급 | IP 40 |
| 사용 온도 (동작) | +10…+50°C |
| 전기 접속 | D-sub 15핀 수 (2SP) |
| 베이크아웃 | ≤110℃ |
| 보관온도 | -20…+65℃ |
| 소비 전력 | 가열중 ≤20 W, 운전중 ≤14 W |
| 응답 시간 | 30 ms |
| 무게 | 552…622 g |
| 옵션 | EtherCAT |