INFICON SKY CDG200D Capacitance Diaphragm Gauge
SKY CDG200D는 센서를 200°C로 가열해 공정 부산물이 쌓이지 않게 한 정전용량 격막 진공게이지입니다. 내식성 세라믹 격막으로 식각·증착 같은 반도체 공정과 부식성 고온 공정에 씁니다.
| 정확도 | 지시값의 0.4% |
| 공급 전압 | +21…+30 V (dc) or ±15 V (±5%) |
| 베이크아웃(flange) | ≤200°C |
| 소비 전력 (동작시) | ≤18 W |
| 보호 등급 | IP 40 |
| 풀스케일 | 1…1000 Torr 또는 1…1100 mbar (센서온도 200°C) |
| 가열시 소비전력 | ≤25 W |
| 사용 온도 (주변) | +10…+50 °C |
| 최대 압력 (절대) | 400 kPa (FS 1000/1100…200), 260 kPa (FS 100…1) |
| 응답 시간 | 30 ms |
| 무게 | 891…964 g |