INFICON Edge CDG025D2 Heated Capacitance Diaphragm Gauge
Edge CDG025D2는 EtherCAT 통신을 갖춘 상온형 정전용량 격막 진공게이지입니다. 온도 보상형 세라믹 센서와 센서 보호막으로 값이 오래 흔들리지 않아 CVD·식각·PVD·ALD 장비에 씁니다.
| 풀스케일 | 1000/1100…200 / 100…5 / 2…0.5 / 0.25 / 0.1 Torr/mbar |
| 정확도 | 0.2% of reading (1000/1100…200, 100…5, 2…0.5 구간) / 0.25%(0.25) / 0.5%(0.1) |
| 공급 전압 | +14…+30 V(dc) or ±15V(±5%) |
| 보호 등급 | IP 40 |
| 사용 온도 | +5…+50℃ |
| 베이크아웃 | ≤110℃ |
| 응답 시간 | 30 ms, 130/30 ms |
| 무게 | 552…622 g |
| 진단포트 | RS232-C |