INFICON Spot CDS530D Wide Range Capacitance Diaphragm Gauge
Spot CDS530D는 소형 센서 두 개를 겹쳐 측정 범위를 넓힌 세라믹 정전용량 격막 센서입니다. 진공 장비 안의 좁은 자리에 넣어 쓰고 SPI 디지털 신호를 내보내며 응답이 빠릅니다.
| 풀스케일 | 1000 / 300 / 100 / 30 / 10 Torr |
| 측정 범위 | 0.1 … 100 % FS |
| 정확도 | 지시값의 0.5 % |
| 사용 온도 (동작) | 0 … 60 °C |
| 최대 압력 (절대) | 400 kPa |
| 공급 전압 | 5 ± 0.25 V (dc) |
| 인터페이스(디지털) | SPI |
| 응답 시간 | 2 ms (10 … 90%) |
| 진공 접촉 재질 | 세라믹 (Al₂O₃), AISI 316L |
| 센서 구성 | 듀얼 센서 (Sensor 1 & 2), 정확도 각 0.5% |
| 장기 안정성 | 0.5% FS/년 |
| 보상온도범위 | 10…50 °C |
| 파열압력(절대) | 800 kPa |
| 소비 전력 | <0.05 W (동작) |
| 치수(참고) | 25.5 x 20.5 x 31 mm (플렉스 케이블 별도) |