환산: 1 mbar = 100 Pa, 1 Torr ≈ 1.333 mbar ≈ 133.32 Pa
맞추는 법: 사양서의 압력을 mbar 한 가지로 옮겨 나란히 비교
영역: 저진공, 중진공, 고진공, 초고진공은 mbar 기준 1, 10⁻³, 10⁻⁷ 부근에서 나뉘며 경계는 자료마다 다름
확인할 것: 값과 단위, 공정 압력과 도달 압력의 구분, 사용 가스
구성: INFICON 게이지, 에바라 MK 터보분자펌프, HTC 알루미늄 블록·올메탈·APC 펜듈럼 밸브
안녕하세요, 밸브파크입니다.
1 mbar는 100 Pa이고 1 Torr는 약 1.333 mbar(약 133.32 Pa)입니다. 펌프 사양은 mbar, 게이지는 Torr, 장비는 Pa로 적혀 있어도 mbar 한 가지로 옮기면 한 줄로 비교됩니다.
저진공부터 초고진공까지의 영역 이름은 자료마다 경계가 달라서 견적 조건은 영역 이름이 아니라 압력 값과 단위로 정합니다.
mbar와 Pa는 100배 차이로 바로 바뀌며 Torr는 1.333이나 133.32를 곱하거나 나눕니다. 1 Torr는 1 atm의 760분의 1이고 1 mbar는 100 Pa입니다.
| 환산 기준 | Pa | mbar | Torr |
|---|---|---|---|
| 1 Pa | 1 | 0.01 | 약 0.0075 |
| 1 mbar | 100 | 1 | 약 0.75 |
| 1 Torr | 약 133.32 | 약 1.333 | 1 |
| 1 atm | 101,325 | 1013.25 | 760 |
mbar에서 Pa로: 100을 곱합니다
Pa에서 mbar로: 100으로 나눕니다
Torr에서 mbar로: 1.333을 곱합니다
mbar에서 Torr로: 0.75를 곱합니다
Torr에서 Pa로: 133.32를 곱합니다
예를 들어 0.5 Torr는 약 0.67 mbar이고 약 67 Pa입니다. bar 단위는 1 bar가 1000 mbar라서 약 750 Torr입니다.
사양서 압력은 mbar 한 가지로
사양서의 압력을 mbar 한 가지로 옮겨 적으면 단위가 섞여 있어도 한 줄로 정렬되어 계통이 맞는지 보입니다.
같은 계통에서 나온 사양 세 가지를 mbar로 옮긴 예입니다.
| 사양서 항목 | 적힌 값 | mbar로 옮긴 값 |
|---|---|---|
| 터보분자펌프 도달 압력 | 2×10⁻⁷ Pa 미만 | 2×10⁻⁹ mbar 미만 |
| 진공 게이지 측정 하한 | 5×10⁻¹⁰ mbar | 5×10⁻¹⁰ mbar |
| 밸브 사양 예시 | 1×10⁻⁵ Torr | 약 1.3×10⁻⁵ mbar |
펌프가 2×10⁻⁹ mbar 미만까지 내려가면 그 압력을 읽는 게이지는 측정 하한이 더 낮아야 합니다. 표의 게이지는 하한이 5×10⁻¹⁰ mbar라서 읽을 수 있습니다.
밸브 사양이 1.3×10⁻⁵ mbar 수준이면 이 펌프가 내려가는 압력보다 약 네 자릿수 높습니다. 그 값이 쓸 수 있는 압력 범위인지 사양서 작성자에게 확인하는 것이 좋습니다.
챔버에 달린 펌프, 게이지, 밸브와 각각의 사양서 세 장
mbar·L/s나 Torr·L/s처럼 L/s가 붙은 단위는 압력이 아니라 누설률이라서 이 표에 섞어 환산하지 않습니다.
게이지 하한은 도달 압력보다 낮게
mbar 기준으로 1, 10⁻³, 10⁻⁷ 부근에서 나뉘며 경계 값은 자료마다 다릅니다.
| 영역 | mbar | Pa | Torr |
|---|---|---|---|
| 저진공 | 1000~1 | 10⁵~10² | 750~0.75 |
| 중진공 | 1~10⁻³ | 10²~10⁻¹ | 0.75~7.5×10⁻⁴ |
| 고진공 | 10⁻³~10⁻⁷ | 10⁻¹~10⁻⁵ | 7.5×10⁻⁴~7.5×10⁻⁸ |
| 초고진공 | 10⁻⁷ 미만 | 10⁻⁵ 미만 | 7.5×10⁻⁸ 미만 |
Torr로 적는 카탈로그는 같은 지수를 Torr에 그대로 적용합니다. 카탈로그 기준으로 중진공은 1~10⁻³ Torr, 고진공은 10⁻³~10⁻⁷ Torr, 초고진공은 10⁻⁷ Torr 미만입니다. 경계 압력이 mbar 표기보다 약 1.33배 높은 셈입니다.
초고진공의 시작을 10⁻⁸ mbar로 두는 교재도 있고, Pa로 적는 자료에는 10⁻⁷ Pa(약 10⁻⁹ mbar)부터로 보는 표도 있습니다. 그래서 견적에서는 영역 이름 대신 압력 값과 단위로 조건을 적습니다.
입자 수가 점점 줄어드는 네 개의 상자와 앞에 놓인 눈금 막대
카탈로그 기준 기체의 흐름도 영역마다 다릅니다. 저진공은 분자끼리 부딪히며 흐르는 점성류, 중진공은 그 중간인 전이 영역, 고진공과 초고진공은 분자가 벽에 주로 부딪히는 분자류입니다.
영역 이름보다 압력 값과 단위로
영역마다 쓰는 게이지, 펌프, 밸브가 달라서 세 가지를 같은 영역에 맞춥니다. 목표 압력과 사용 가스를 알려 주시면 영역에 맞는 게이지, 펌프, 밸브 조합을 제안합니다.
| 영역 | 압력 게이지 | 펌프 | 밸브와 씰 |
|---|---|---|---|
| 저·중진공 (1000~10⁻³ mbar) | 피라니식, 정전용량식 | 러핑·포어라인용 보조 펌프 | 고무 O링 씰, 자동 차단 앵글밸브 |
| 고진공 (10⁻³~10⁻⁷ mbar) | 열음극식, 피라니식 복합 | 터보분자펌프와 보조 펌프 | 벨로우즈로 격리한 밸브, 표준 설계로 10⁻⁷ mbar 부근까지 |
| 초고진공 (10⁻⁷ mbar 미만) | 열음극식 | 터보분자펌프, 베이크 | 올메탈 밸브, 금속 씰, CF 플랜지 |
위에서부터 PSG50x 피라니, 정전용량식, BPG400 복합 게이지가 읽는 구간. 점선은 1, 10⁻³, 10⁻⁷ mbar 경계
| 대기압에서 초고진공까지 한 대로 측정 | INFICON BPG400 열음극·피라니 복합 진공게이지 측정 범위 5×10⁻¹⁰~1000 mbar |
| 단위별 풀스케일을 골라 측정 | INFICON CDG025D 정전용량 격막 진공게이지 Torr·Pa·mbar 풀스케일별 모델 |
| 고진공~초고진공 배기 | 에바라 MK 마그네틱 부상 터보분자펌프 도달 압력 2×10⁻⁷ Pa 미만 |
| KF 소구경 자동 차단 | HTC 알루미늄 블록 앵글밸브 사용 압력 1×10⁻⁸ mbar~2 bar |
| 초고진공 베이크 라인 | HTC 베이커블 올메탈 밸브 사용 압력 1×10⁻¹⁰~1000 mbar |
| 챔버 압력 제어 | HTC APC 펜듈럼 밸브 센서 입력으로 압력 제어 |
INFICON BPG400 열음극·피라니 복합 진공게이지: 5×10⁻¹⁰~1000 mbar
고진공과 초고진공을 읽는 열음극식 센서와 대기압 쪽을 읽는 피라니 센서를 합친 게이지입니다. 사양상 측정 범위는 5×10⁻¹⁰~1000 mbar이고 3.8×10⁻¹⁰~750 Torr로도 적혀 있어서 Torr로 적힌 사양서와 맞대어 보기 쉽습니다.
INFICON PSG50x, CDG025D, BPG400 진공게이지
정확도: 10⁻⁸~10⁻² mbar 구간에서 읽은 값의 ±15%
최대 압력과 보호: 최대 2 bar, 보호 등급 IP30
저·중진공만 읽는 라인: 같은 INFICON의 PSG50x 피라니 게이지가 5×10⁻⁴~1000 mbar를 읽으며 1×10⁻³~100 mbar 구간 정확도는 읽은 값의 ±15%
INFICON CDG025D 정전용량 격막 진공게이지: 풀스케일을 단위별로 고르는 모델
풀스케일은 게이지가 읽는 최대 압력이며 모델마다 정해져 있습니다. 주문표에는 Torr, Pa, mbar 단위별 풀스케일이 따로 있어서 100 Torr(약 133 mbar)와 100 mbar는 서로 다른 모델입니다.
표준 풀스케일: 1000, 100, 10, 1, 0.1 Torr
정확도: Torr·mbar 표기 풀스케일 0.5 이상 모델은 읽은 값의 0.2%, 0.25 모델은 0.25%, 0.1 모델은 0.5%
에바라 MK 마그네틱 부상 터보분자펌프: 도달 압력 2×10⁻⁷ Pa 미만
회전체를 자기력으로 띄우는 터보분자펌프로 고진공과 초고진공 배기에 씁니다. 도달 압력은 2×10⁻⁷ Pa 미만(2×10⁻⁹ mbar 미만)이고 EMT3804MK와 EMT4204MK는 5×10⁻⁷ Pa 미만입니다.
위쪽 입구 플랜지와 옆 배기구, 아래 제어부가 보이는 에바라 MK 터보분자펌프
배기 속도(N₂): 1650~4200 L/s, 모델별
보조 펌프 허용 압력: 100~110 Pa, 약 1~1.1 mbar(모델별)
정격 회전 속도: 24000~27000 min⁻¹
데이터시트 표기: Pa와 Torr를 함께 적어 두 단위의 사양서와 바로 맞출 수 있음
HTC 알루미늄 블록 앵글밸브: 사용 압력 1×10⁻⁸ mbar~2 bar
KF 소구경 배관을 공압으로 자동 차단하는 앵글밸브입니다. 사용 압력이 1×10⁻⁸ mbar부터라 고진공 영역을 포함하며 카탈로그 기준 누설률은 1×10⁻⁹ mbar·L/s입니다.
접속과 구동: KF16·KF25·KF40, 공압 4~6 kg/cm²
구성: 316Ti 스테인리스 벨로우즈, Viton 씰
베이크: 알루미늄 몸체 80℃까지
HTC 베이커블 올메탈 밸브: 사용 압력 1×10⁻¹⁰~1000 mbar
초고진공 배관을 가열해 가스를 빼는 베이크(가열 탈가스) 공정에 쓰는 올 스테인리스 밸브입니다. 카탈로그 기준 누설률은 5×10⁻¹⁰ mbar·L/s이고 열린 상태 400℃, 닫힌 상태 300℃까지 베이크합니다.
구조: 올 스테인리스, 벨로우즈 스템 씰
접속: CR16·CR35·CR63
HTC APC 펜듈럼 밸브: 센서 입력으로 챔버 압력을 제어
공정 챔버와 터보분자펌프 사이에 설치해 챔버 압력 제어와 차단을 함께 맡는 밸브입니다. ISO200·250·320 플랜지이며 알루미늄 몸체의 사용 압력은 1×10⁻⁸ mbar~1.2 bar입니다.
둥근 검은 몸체에 파란 컨트롤러가 붙은 HTC APC 펜듈럼 밸브
센서 입력: 0~10 V 2채널
제어 정확도: 센서 최대 범위의 0.1%
연결 게이지에 따른 차이: 풀스케일 1 Torr 게이지를 연결하면 0.1%는 0.001 Torr(약 1.3×10⁻³ mbar)
목표 압력에 맞춰 조합을 함께
Q. mbar와 Torr는 같은 값으로 봐도 되나요?
1 Torr가 1.333 mbar라서 값이 약 33% 다릅니다. 자릿수만 볼 때는 같게 봐도 되지만 목표 압력과 게이지 오차를 비교할 때는 환산한 값으로 봅니다.
Q. 사양서의 압력이 도달 압력인지 공정 압력인지는 어떻게 구분하나요?
도달 압력은 용기 안에서 얻을 수 있는 가장 낮은 압력이며 공정 압력은 가스를 흘리는 동안 유지하는 압력입니다. 가스를 흘리면 펌프가 빼는 양과 들어오는 양이 맞는 압력까지 올라가므로 두 값은 같지 않습니다.
Q. 같은 압력인데 게이지마다 읽는 값이 다른 이유는 무엇인가요?
피라니 게이지는 가스 종류에 따라 읽는 값이 달라 질소나 공기 기준으로 맞춰져 있습니다. 게이지마다 정확도 표기도 달라서 BPG400의 ±15%처럼 오차 범위 안의 차이일 수 있습니다.
Q. 사양서에 kPa나 mmHg로 적혀 있으면 어떻게 환산하나요?
1 kPa는 1000 Pa이므로 10 mbar입니다. 1 mmHg는 1 Torr와 같은 값으로 보며, psi는 1 psi가 약 68.95 mbar(약 51.7 Torr)입니다.
목표 압력(단위 포함)과 사용 가스, 챔버 부피를 알려 주시면 사양 검토를 시작할 수 있습니다.
1️⃣ 목표 압력과 단위: 공정 압력인지 도달 압력인지 구분해 사양서에 적힌 그대로
2️⃣ 사용 가스와 챔버 부피(L)
3️⃣ 필요한 부품: 게이지, 펌프, 밸브 중 무엇인지
4️⃣ 접속 규격과 구경: KF, ISO, CF, CR
5️⃣ 베이크 온도: 있으면 열림과 닫힘 상태 구분
6️⃣ 수량과 희망 납기
사양표나 세부 자료가 필요한 경우 문의해 주시기 바랍니다.
▸ 상품 보기: INFICON BPG400 열음극·피라니 복합 진공게이지
▸ 함께 보기: 에바라 MK 마그네틱 부상 터보분자펌프
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