INFICON BPG400 Hot Cathode/Pirani Gauge
BPG400은 Bayard-Alpert 열음극 센서와 피라니 센서를 한 몸에 담은 복합 진공게이지입니다. 초고진공부터 대기압까지 재고 피라니 값으로 필라멘트를 보호하며 반도체 공정과 이송 챔버에 씁니다.
| 측정 범위 | 5×10⁻¹⁰ … 1000 mbar (3.8×10⁻¹⁰ … 750 Torr) |
| 정확도(10⁻⁸…10⁻² mbar) | 지시값의 ±15% |
| 공급 전압 | +20…+28/0.8V/A(dc) |
| 최대 압력 | 2 bar |
| 보호 등급 | IP30 |
| 베이크아웃 | 플랜지(연장관 포함) 150°C, 연장관 없이 80°C, 전자부 제거 시 150°C |
| 사용 온도 | 0…+50°C |
| 재현성 | 5% (10⁻⁸…10⁻² mbar) |
| 인터페이스 | RS232C (옵션 DeviceNet, Profibus DP) |
| 치수 | 67×58×153 mm (플랜지 높이 DN25 KF 42, DN40 CF 48) |