INFICON Trigon BCG552 3중 복합(BA·피라니·CDG) 진공게이지

INFICON Trigon BCG552 TripleGauge

Trigon BCG552는 Bayard-Alpert 열음극, 피라니, 정전용량 격막 센서를 한 플랜지에 담은 3중 복합 진공게이지입니다. 초고진공부터 대기압 위까지 재고 대기압 센서로 로드락 제어에도 씁니다.

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사양

측정 범위5×10⁻¹⁰ … 1500 mbar, 연속
정확도(50…950mbar)지시값의 ±5%

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