INFICON BAG402 Hot Cathode Ionization Gauge
BAG402는 Bayard-Alpert 방식 열음극 이온 진공게이지입니다. 이트리아 코팅 이리듐 필라멘트 두 개를 쓰고 교정값을 담은 센서를 바꿔 끼우며 반도체 공정과 이송 챔버의 기저 압력을 잽니다.
| 측정 범위 | 5×10⁻¹⁰ … 2.7×10⁻² mbar (3.75×10⁻¹⁰ … 2×10⁻² Torr) |
| 정확도 | 지시값의 ±15% |
| 공급 전압 | +20…+28 / ≤0.8 V/A (dc) |
| 사용 온도 (동작) | 0…+50°C |
| 필라멘트 | Yt2O3 코팅 Ir 두 개 |
| 베이크아웃 | 플랜지 80°C (전자부 제거) |
| 재현성 | 5% (지시값, 10⁻⁸…10⁻² mbar) |
| 최대 압력 (절대) | 2 bar |
| 인터페이스 | 진단 포트 RS232C |
| 보관온도 | -20…+70°C |