INFICON HPG400 Hot Cathode/Pirani Gauge
HPG400은 고압형 열음극 이온 센서와 피라니 센서를 한 몸에 담은 복합 진공게이지입니다. 고진공부터 대기압까지 재며 특히 스퍼터링 공정 압력을 반복해서 고르게 측정하는 데 맞습니다.
| 측정 범위 | 2×10⁻⁶ … 1000 mbar (1.5×10⁻⁶ … 750 Torr) |
| 정확도(10⁻⁵…1mbar) | 지시값의 ±15% |
| 공급 전압 | 20…28 V/0.8A(dc) |
| 최대 압력 (절대) | 2 bar |
| 보호 등급 | IP30 |
| 반복성 | 2% (10⁻⁵…10⁻¹ mbar), 30% (10⁻¹…100 mbar) |
| 열이온 방출 시작압력 | 선택 1, 5×10⁻¹, 2×10⁻¹, 1×10⁻¹, 5×10⁻² mbar |
| 사용 온도 | 0…+50 °C |
| 베이크아웃 | 플랜지 80°C, 전자부 제거 시 150°C |
| 인터페이스 | RS232C (HPG400-SP Profibus DP, HPG400-SD DeviceNet) |
| 치수 | 67 x 58 x 153 mm |
| 무게 | KF 430 g, CF 695 g |