INFICON Trigon BPG552 Hot Cathode/Pirani Gauge
Trigon BPG552는 Bayard-Alpert 열음극 센서와 피라니 센서를 함께 담은 복합 진공게이지입니다. 초고진공부터 대기압까지 재며 교정 칩을 담은 센서를 그대로 바꿔 끼우고 OLED 표시창을 갖췄습니다.
| 측정 범위 (Pirani+BA) | 5×10⁻¹⁰ … 1000 mbar (전환 구간 5×10⁻³…2×10⁻²mbar, BA 5×10⁻¹⁰…5×10⁻³mbar) |
| 정확도(1×10⁻⁸…100mbar) | 지시값의 ±15% |
| 공급 전압 | +24 V (dc) (+20…+28 V) |
| 소비 전력 | ≤18 W (EtherCAT ≤21 W) |
| 사용 온도 | 0…+50°C |
| 최대 압력 (절대) | 5 bar |
| 보호 등급 | IP40 |
| 무게 | 550…760 g |
| 베이크아웃 | +150°C (진공 연결부, 전자부·교정 프린트 제외, 수평 설치) |
| 인터페이스 | 진단 포트, RS232C, EtherCAT 옵션 |
| 출력 | 0…+10 V (0.774…10.0 V, 0.75 V/decade) |
| 정확도(100…1000 mbar) | 지시값의 ±50% |