Air operated valve for chemical liquids Metal-free type
모델명: AMD※1M
반도체 제조 공정의 염산과 불산 등 강산 배관용으로 설계한 메탈프리 공압 구동 밸브입니다. 평상시 닫힘 방식이며, 유체 온도 범위는 5 to 40 °C입니다.
| AMD31M, AMD51M | 작동 방식 | NC (상시 닫힘) |
| AMD31M, AMD51M | 사용 유체 (제품 구성 재질·유체·사용 환경의 적합성 확인) | 약액, 순수, 공기, N2 가스 |
| AMD31M, AMD51M | 유체 온도 (°C) | 5 ~ 40 |
| AMD31M, AMD51M | 내압력 (MPa) | 1.0 |
| AMD31M, AMD51M | 사용 압력 (A→B) (MPa) | 0 ~ 0.5 |
| AMD31M, AMD51M | 시트 누설량 (cm3/min) | 0 (수압) |
| AMD31M, AMD51M | 배압 (MPa) | 0 ~ 0.5 |
| AMD31M, AMD51M | 주위 온도 (°C) | 0 ~ 40 |
| AMD31M, AMD51M | 작동 빈도 (AMD31M) | 20 cycle/min. 이하 |
| AMD31M, AMD51M | 작동 빈도 (AMD51M) | 15 cycle/min. 이하 |
| AMD31M, AMD51M | 설치 방향 | 제한 없음 |
| AMD31M, AMD51M | 구동 압력 (MPa) | 0.4 ~ 0.6 |
| AMD31M, AMD51M | 구동 포트 | Rc1/8 |
| AMD31M, AMD51M | 질량 (AMD31M) (kg) | 0.33 |
| AMD31M, AMD51M | 질량 (AMD51M) (kg) | 1.0 |