INFICON PCG55x Pirani/Capacitance Combination Gauge
PCG55x는 피라니 센서와 세라믹 격막 센서를 한 몸에 담은 복합 진공게이지입니다. 고진공부터 대기압 위까지 한 대로 재고 대기압 근처에서도 정확하며 필라멘트는 세 가지 중에서 고릅니다.
| 필라멘트 | 텅스텐 (PCG550) / 니켈 (PCG552) / 세라믹 코팅 (PCG554) |
| 측정 범위 | 5×10⁻⁵ … 1500 mbar (3.8×10⁻⁵ … 1125 Torr) |
| 정확도(1×10⁻³…100mbar) | 지시값의 ±15% |
| 정확도(950…1050mbar) | 지시값의 ±2.5% |
| 최대 압력 (절대) | 10 bar |
| 사용 온도 (동작) | +10 … +50°C |
| 공급 전압 | +15 … +30 V (dc) |
| 출력 신호 | 0 … +10.23 V / 0 … +8.68 V / 0 … +5.659 V / 0 … +9.05 V (선택) |
| 재현성 | ±2% (지시값, 1×10⁻³…1100 mbar N2) |
| 베이크아웃 | 플랜지 ≤80°C, 롱튜브 ≤250°C |
| 보호 등급 | IP 40 |
| 허용 압력 (절대) | ≤5 bar |
| 보관온도 | -20…+65°C |
| 정확도(추가 구간) | 5×10⁻⁴…1×10⁻³ mbar ±50% / 100…950 mbar ±5% (지시값) |