INFICON PSG55x Pirani Vacuum Gauge
PSG55x는 저진공부터 고진공까지 재는 피라니 진공게이지입니다. 필라멘트를 텅스텐·니켈·세라믹 코팅 중에서 고를 수 있어 부식성 공정에도 쓰며 교정값을 담은 센서를 그대로 바꿔 끼웁니다.
| 필라멘트 | 텅스텐 (PSG550) / 니켈 (PSG552) / 세라믹 코팅 (PSG554) |
| 측정 범위 | 5×10⁻⁵ … 1000 mbar (3.8×10⁻⁵ … 750 Torr) |
| 정확도(1×10⁻³…100mbar) | 지시값의 ±15% |
| 최대 압력 (절대) | 10 bar |
| 사용 온도 (동작) | +10 … +50°C |
| 공급 전압 | +15 … +30 V (dc) |
| 출력 신호 | 0 … +10 V / 0 … +8.5 V / 0 … +5.529 V / 0 … +8.875 V (선택) |
| 인터페이스(디지털) | RS232C (선택: DeviceNet / Profibus DP / EtherCAT / RS485) |
| 플랜지 연결 | DN 16 ISO-KF / DN 16 CF-F / DN 25 ISO-KF / 4·8 VCR 암 / 1/8" NPT / 7/16-20 UNF 수 |
| 보호 등급 | IP 40 |
| 정확도(추가 구간) | 5×10⁻⁴…1×10⁻³ mbar ±50%, 100…1000 mbar ±50% |
| 재현성 | ±2% (1×10⁻³…100 mbar) |
| 사용 압력 (절대) | ≤5 bar |
| 베이크아웃 | 플랜지 ≤80°C, 롱튜브 ≤250°C |
| 보관온도 | -20…+65°C |
| 소비 전력 | ≤2.5 W (필드버스 없음) |
| 무게 | 115…130 g (필드버스 없음), 230…250 g (있음) |