INFICON PSG50x Pirani Vacuum Gauge
PSG50x는 디지털 피라니 기술을 쓰는 소형 피라니 진공게이지입니다. 스테인리스 측정 셀과 로그 출력 신호를 갖춰 반도체 장비와 진공 배관의 압력 감시, 안전 회로에 씁니다.
| 측정 범위 | 5×10⁻⁴ … 1000 mbar |
| 정확도(1×10⁻³…100mbar) | 지시값의 ±15% |
| 공급 전압 | +14…+30 V (dc) |
| 허용 압력 (절대) | 10 bar, 불활성 가스에 한함 |
| 재현성 | 2% (지시값, 공기, 1×10⁻³…100 mbar) |
| 동작온도 | +5…+60°C |
| 보관온도 | -20…+65°C |
| 진공 연결부 온도 | 80°C / 250°C (롱튜브) |
| 보호 등급 | IP40 |
| 무게 | 70…140 g (플랜지별) |