INFICON PSG050 / PSG051 Pirani 표준 게이지

INFICON PSG050 / PSG051 Pirani Standard Gauge

INFICON PSG050과 PSG051은 Pirani 방식의 표준 진공 게이지입니다. 5×10⁻⁴ mbar부터 1000 mbar까지 측정하고, 진공 게이지 컨트롤러 VGC012 또는 VGC023과 함께 씁니다. PSG051은 백금 필라멘트와 스테인리스강 센서를 써서 부식성 공정과 수증기가 많은 환경에 알맞습니다.

INFICON PSG050 / PSG051 Pirani 표준 게이지INFICON PSG050 / PSG051 Pirani 표준 게이지 2

사양

측정 방식Pirani (정온도 필라멘트 방식)
측정 범위5×10⁻⁴ ~ 1000 mbar (3.75×10⁻⁴ ~ 750 Torr)
사용 온도 (주위)0 ~ +40 °C (PSG050, PSG050 1/8" NPT, PSG051 공통)
온도 보상0 °C ~ 40 °C
센서 구성PSG050: 알루미늄 센싱 셀, 텅스텐 필라멘트 / PSG050 1/8" NPT: 스테인리스강 센싱 셀, 텅스텐 필라멘트 / PSG051: 스테인리스강 센서, 백금 필라멘트, 세라믹 피드스루
필라멘트 온도110 °C (3종 공통)
최대 압력 (절대)PSG050: 3 bar / PSG050 1/8" NPT: 3 bar / PSG051: 10 bar
내부 체적PSG050: 11 cm³ / PSG050 1/8" NPT: 11 cm³ / PSG051: 10 cm³
진공 접속PSG050: DN 16 ISO-KF / PSG050 1/8" NPT: 1/8" NPT / PSG051: DN 16 ISO-KF
진공 접촉 재질PSG050: 텅스텐, 알루미늄, 니켈 도금 강, 스테인리스강, NiFe, 유리, CrNi, 에폭시 접착제 / PSG050 1/8" NPT: 텅스텐, 스테인리스강, NiFe, 유리, CrNi, 에폭시 접착제 / PSG051: 백금, 스테인리스강, CrNi, Al₂O₃, NiFe
사용 컨트롤러진공 게이지 컨트롤러 VGC012 / VGC023
품번PSG050 DN 16 ISO-KF: 399-500 / PSG050 1/8" NPT: 399-501 / PSG051 DN 16 ISO-KF: 399-502 / 교체 센서(DN 16 ISO-KF): PSG050 350-980, PSG051 350-981