INFICON PSG01x Pirani Vacuum Gauge
PSG010·017·018은 VGC094 컨트롤러에 연결해 쓰는 수동형 피라니 게이지 헤드입니다. PSG010은 일반 산업용이고 PSG017·018은 금속 밀봉 구조라 높은 베이크아웃 온도와 방사선 환경에 맞습니다.
| 측정시스템 | 피라니 |
| 측정 범위 | 8×10⁻⁴ … 1000 mbar |
| 베이크아웃 | 100 °C (PSG010) / 250 °C (PSG017·018) |
| 플랜지 연결 | DN 10 ISO-KF (PSG010) / DN 16 ISO-KF / DN 16·40 CF-F |
| 보호 등급 | IP 40 |
| 무게 | PSG010 0.14 kg / PSG017 1.2 kg / PSG018 1.2 kg |
| 내방사선 | PSG017·018 1×10⁶ Gy |
| 과압 | ≤9 bar (제한된 불활성가스) |
| 동작온도 | PSG010 0…+70 °C, PSG017·018 0…+80 °C (고온 케이블 0…+120 °C) |