진공 KF 플랜지 (SUS304, SHORT-WELD)

Vacuum KF Flange (SUS304, SHORT-WELD)

모델명: PVF-02

PVF-02는 KF(NW) 규격 진공 배관 연결에 사용하는 SHORT-WELD 타입 플랜지입니다. SUS304 재질과 짧은 용접 넥을 갖춘 구조로, 반도체·디스플레이·태양광·실험실의 진공 배관 말단부 및 챔버 직결부 용접 연결에 사용됩니다.

사양

자주 묻는 질문

SHORT-WELD와 LONG-WELD 타입은 어떻게 구분해 사용하나요?

SHORT-WELD는 용접 넥 길이가 짧아 공간 제약이 있는 구간이나 챔버 벽면 직결부에 적합합니다. LONG-WELD는 용접 넥 길이가 길어 열영향부(HAZ)가 플랜지 시일면에서 멀어지므로, 반복 열변형이 우려되는 라인이나 용접 후 변형을 최소화해야 하는 고정밀 플랜지에 유리합니다. 설치 공간이 여유롭고 열변형을 줄여야 한다면 LONG-WELD, 공간이 제한적이면 SHORT-WELD를 선택하시는 것이 일반적입니다.

용접 연결과 볼트 연결은 어떻게 구분해 사용하나요?

용접 연결은 본체와 플랜지를 일체화하기 때문에 장기 기밀성이 우수하고 누설 경로가 없는 반면, 교체 시 배관 해체가 필요합니다. 볼트 연결(플랜지 직체결)은 착탈이 용이해 유지보수성이 좋은 대신, 볼트 체결부가 누설 관리 포인트가 됩니다. 고정 설치되는 라인은 용접형이 일반적이며, 반복 정비가 필요한 라인은 볼트형 또는 클램프형을 선택합니다.

어떤 진공도까지 사용 가능한가요?

KF 플랜지 시스템은 일반적으로 중진공부터 고진공(HV) 영역까지 폭넓게 사용됩니다. 초고진공(UHV) 영역이 요구되는 경우에는 CF 플랜지 시스템이 적합하므로, 사용 환경을 알려주시면 적합 여부와 대안을 함께 안내드립니다.

용접 시 주의할 점이 있나요?

진공 라인의 용접은 내부 표면에 산화 스케일이 남지 않도록 아르곤 백 퍼지 환경에서 TIG 용접을 적용하는 것이 표준입니다. 용접 직후에는 내부 세정을 거쳐 배관에 투입하며, 특히 고진공 라인에서는 필요 시 패시베이션(부동태화) 처리를 함께 적용하는 것이 기밀성 확보에 유리합니다.