진공 MF 플랜지 (SUS304)

Vacuum MF Flange (SUS304)

모델명: PVF-16

PVF-16은 ISO-MF 규격의 진공 배관 연결에 사용하는 SUS304 재질 플랜지입니다. 글로벌 표준 치수로 일반 진공 부품과의 호환성이 양호하며, 반도체·디스플레이·태양광·실험실 공정의 중진공·고진공 배관 체결부에 사용됩니다.

특징

• 정밀 가공된 설계로 누설 없이 완벽한 기밀성 보장
• 글로벌 표준 (ISO-MF)에 맞춰 제작되어 표준 진공 부품과 안정적 호환
• 반도체, 디스플레이 장비부터 연구용 진공 챔버까지 다용도 활용 가능
• 클램프를 사용한 다중 체결 구조로 배관의 끝을 안전하고 견고하게 마감

사양

자주 묻는 질문

MF(Movable Flange)와 고정 플랜지는 어떻게 다른가요?

MF는 배관 외주에 자유롭게 회전 결합할 수 있는 이동형 플랜지로, 설치 시 볼트 홀 위치를 쉽게 맞출 수 있어 이미 고정된 플랜지와의 조립에 유리합니다. 고정 플랜지는 배관과 일체 용접되어 있어 볼트 홀 위치가 고정되기 때문에, 설치 시 맞춰 돌리기 어려운 경우 한쪽에 MF를 사용하면 조립이 훨씬 수월해집니다.

ISO-K·ISO-F와 MF는 어떤 관계인가요?

ISO-K는 양쪽 모두 매끄러운 플랜지면에 외주 클램프로 체결하는 방식이고, ISO-F는 볼트 체결 방식입니다. MF는 ISO-F 시스템에서 한쪽에 사용되는 이동형 플랜지로, 주로 배관 말단의 볼트 홀 정렬을 쉽게 하기 위해 사용됩니다. 고정형 플랜지와 MF를 조합해 사용하는 경우가 많습니다.

어느 정도 진공도까지 사용 가능한가요?

ISO-MF 플랜지 시스템은 중진공부터 고진공(HV) 영역까지 표준적으로 사용되는 형식입니다. 초고진공(UHV) 영역이 요구되는 환경은 CF 플랜지 시스템이 적합하므로, 사용 환경을 알려주시면 적합 여부와 대안을 함께 안내드립니다.

센터링 링과 반드시 세트로 사용해야 하나요?

네. ISO 플랜지 시스템은 두 플랜지 사이에 센터링 링(O링 포함)을 끼워 넣고 체결하는 것이 표준 구성입니다. 센터링 링 없이 직접 체결하면 O링 위치가 잡히지 않아 기밀이 형성되지 않으므로, 플랜지·센터링 링·O링은 동일 사이즈 세트로 준비하시는 것이 원칙입니다.