INFICON MAG050/060/070 Cold Cathode Gauge
MAG050·060·070은 VGC094·VGC083C 컨트롤러에 연결해 쓰는 수동형 역마그네트론 냉음극 게이지입니다. MAG060·070은 금속 밀봉 구조라 높은 베이크아웃 온도와 방사선 환경에서도 씁니다.
| 측정시스템 | 냉음극 이온화 (역마그네트론) |
| 측정 범위 | 2×10⁻⁹ … 5×10⁻³ mbar (MAG050) / 1×10⁻¹⁰ … 5×10⁻³ mbar (MAG060) / 1×10⁻¹¹ … 5×10⁻³ mbar (MAG070) |
| 정확도 | 지시값의 30% |
| 베이크아웃 | 150 °C (MAG050) / 250 °C (MAG060·070) |
| 플랜지 연결 | DN 25·40 ISO-KF / DN 40 CF-F |
| 보호 등급 | IP40 |
| 반복성(N₂, 대표값) | 지시값의 5% |
| 최대 케이블 길이 | MAG050·060 ≤100 m, MAG070 ≤500 m |
| 방사선 저항 | MAG060·070 1×10⁷ Gy |
| 과압 | ≤9 bar (불활성 가스, 제한) |
| 전기 접속 | MAG050·060 동축 (SHV), MAG070 트라이액셜 |
| 무게 | 600 g (KF), 850 g (CF-F) |