INFICON MAG470 Cold Cathode Gauge
MAG470은 필라멘트 없이 이온화로 재는 역마그네트론 냉음극 진공게이지입니다. 금속 밀봉 구조로 초고진공 감시와 증착·스퍼터링 장비의 기저 압력 측정에 쓰고 청소가 쉽습니다.
| 측정 범위 | 5×10⁻¹¹ … 1×10⁻² mbar (3.8×10⁻¹¹ … 7.5×10⁻³ Torr) |
| 정확도 | 지시값의 ≈±30% (1×10⁻⁹…1×10⁻³ mbar) |
| 공급 전압 (게이지) | +15…+30 V(dc) |
| 베이크아웃(extended) | +250°C |
| 허용 압력 (절대) | ≤10 bar (불활성 가스에 한함) |
| 반복성 | ≈±5% (1×10⁻⁹…1×10⁻³ mbar) |
| 사용 온도 | +5…+55 °C |
| 보관온도 | -40…+65 °C |
| 소비 전력 | ≤2 W |
| 출력 | 0…+10.5 V 로그 0.8 V/decade (측정범위 +1.96…+8.6 V) |
| 응답 시간 | p>10⁻⁶ mbar <10 ms |
| 무게 | 약 950 g (MAG470), 약 1100 g (MAG470 extended) |
| 보호 등급 | IP40 |
| 베이크아웃 | +250°C (전자부·자기 차폐 제외) |