INFICON PEG100 Penning Vacuum Gauge
PEG100은 중진공부터 초고진공까지 재는 페닝(냉음극) 방식 진공게이지입니다. 필라멘트가 없고 티타늄 음극판을 쓰며 플라즈마가 켜진 뒤 고전압을 낮춰 아르곤 스퍼터링 공정에서도 오염 위험이 작습니다. 로그 아날로그 출력에 더해 DeviceNet이나 Profibus DP 모델이 있어 장비에 쉽게 연결합니다.
| 측정시스템 | 페닝 냉음극 |
| 측정범위 | 1×10⁻⁹ … 1×10⁻² mbar (7.5×10⁻¹⁰ … 7.5×10⁻³ Torr) |
| 정확도(10⁻⁸…10⁻⁴mbar) | 지시값의 ±30 % |
| 허용압력(절대) | 10 bar |
| 사용온도(동작) | +10 … +50 °C |
| 보관온도 | -20 … +75 °C |
| 베이크아웃(전자부 분리) | 350 °C |
| 베이크아웃(전자부 장착, 플랜지부) | 70 °C |
| 공급전압 | 14.5 … 36 V (dc) |
| 소비전력 | 최대 2 W 미만 |
| 아날로그 출력 | 0 … 10.6 V (측정범위 0.66 … 10 V, 1.333 V/decade) |
| 커넥터 | FCC 68 암, 8핀 (차폐) |
| 케이블 길이(아날로그) | 최대 100 m |
| 진공 접촉 재질 | 스테인리스강, CrNi, Al₂O₃, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti |
| 내부 용적 | 21 cm³ |
| 중량 | 약 500 g |
| 보호 등급 | IP40 |
| 플랜지 연결 | DN 25 ISO-KF / DN 40 CF-F |
| 통신 옵션 | DeviceNet (PEG100-D) / Profibus DP (PEG100-P, DN 25 ISO-KF) |