INFICON Gemini MxG5xx Cold Cathode/Pirani Gauge
Gemini MxG5xx는 역마그네트론 냉음극 게이지(MAG5xx)와 여기에 피라니를 더한 복합 게이지(MPG5xx)입니다. 필라멘트 없이 이온화로 재므로 오래 쓰고 고진공부터 대기압까지 한 대로 읽습니다.
| 측정시스템 | 냉음극 역마그네트론 (MAG5xx) / 피라니+냉음극 (MPG5xx) |
| 측정 범위 | 1×10⁻⁹ … 1×10⁻² mbar (MAG5xx) / 1×10⁻⁹ … 1000 mbar (MPG5xx) |
| 정확도(1×10⁻⁸…1×10⁻²mbar) | 지시값의 30% |
| 허용 압력 (절대) | 10 bar |
| 사용 온도 (동작) | +5 … +55°C |
| 공급 전압 | +14.5 … +30 V (dc) |
| 소비 전력 | ≤3 W |
| 인터페이스(디지털) | RS232C / RS485C |
| 보호 등급 | IP40 |
| 정확도(N₂, 구간별) | 1×10⁻⁸…1×10⁻² mbar 30% (MAG5xx/MPG5xx), 1×10⁻²…100 mbar 30% (MPG5xx), 100…1000 mbar 50% (MPG5xx) |
| 반복성 | 5% (1×10⁻⁸…100 mbar) |
| 플랜지 베이크아웃 | +150°C (전자부 제외) |
| 보관온도 | -40…+70°C |
| 필라멘트 온도 | 120°C (MPG5xx만) |
| 점화·동작 전압 | 점화 ≤4.5 kV, 동작 ≤3.3 kV |
| 무게 | MxG50x DN25 ISO-KF <280 g, DN40 ISO-KF <320 g, DN40 CF-F & CF-R <570 g; MxG55x ≤500 / ≤530 / ≤780 g |
| 아날로그 출력 | N형 1 V/decade, P형 0.6 V/decade, Q형 1.33 V/decade |