INFICON MPG40x Cold Cathode/Pirani Gauge
MPG40x는 역마그네트론 냉음극 센서와 피라니 센서를 한 몸에 담은 복합 진공게이지입니다. 필라멘트가 없어 끊어질 걱정이 없고 고진공부터 대기압까지 한 대로 잽니다.
| 측정 범위 | 5×10⁻⁹ … 1000 mbar (3.8×10⁻⁹ … 760 Torr) |
| 정확도 | 지시값의 ±30% (1×10⁻⁸…100 mbar) |
| 공급 전압 | +15…+30 V(dc) |
| 베이크아웃 온도 | +150°C |
| 허용 압력 (절대) | ≤10 bar (불활성 가스) |
| 사용 온도 | +5…+55 °C |
| 보관온도 | -40…+65 °C |
| 반복성 | ≈±5% (1×10⁻⁸…100 mbar) |
| 출력 | 0…+10.5 V, 로그 0.6 V/decade |
| 필라멘트(피라니) | +120 °C |
| 보호 등급 | IP40 |
| 무게 | MPG400 (FPM sealed) KF25 ≈700 g, KF40 ≈720 g, CF-F ≈980 g / MPG401 (Metal-sealed) ≈730 g, ≈750 g, ≈1010 g |
| 높이 | MPG400 92 mm, MPG401 105 mm (ø63.5) |