INFICON PEG050 Penning Vacuum Gauge
PEG050은 필라멘트가 없는 페닝(냉음극) 방식의 수동형 진공게이지입니다. 티타늄 음극판을 쓰고 플라즈마가 켜진 뒤에는 고전압을 낮춰 스퍼터링 공정에서도 쓸 수 있습니다. 음극판과 양극 링은 분해해 닦거나 바꿀 수 있고 VGC023 컨트롤러에 연결해 씁니다.
| 측정시스템 | 페닝 냉음극 |
| 측정범위 | 1×10⁻⁹ … 1×10⁻² mbar (0.75×10⁻⁹ … 10⁻² Torr) |
| 고전압(양극 전위) | +3.3 / +1.6 kV |
| 사용온도(동작) | 0 … +80 °C |
| 보관온도 | -25 … +80 °C |
| 허용압력(절대) | 6 bar |
| 내부 용적 | 21 cm³ |
| 진공 접촉 재질 | 스테인리스강, CrNi, Al₂O₃, Ti |
| 플랜지 연결 | DN 25 ISO-KF / DN 40 ISO-KF |
| 중량 | 약 0.3 kg (DN 25) / 약 0.4 kg (DN 40) |