INFICON IE414/IE514 Ionization Gauge Tube
IE414·IE514는 IM540 컨트롤러에 연결해 쓰는 수동형 열음극 이온게이지 센서입니다. IE414는 Bayard-Alpert 방식, IE514는 추출기 방식이며 초고진공 연구에 씁니다.
| 플랜지 연결 | DN 40 CF |
| 측정 범위 (N₂) | IE414 2×10⁻¹¹…1×10⁻² mbar / IE514 2×10⁻¹²…1×10⁻⁴ mbar |
| X선 한계 | IE414 <1×10⁻¹¹ mbar, IE514 <1×10⁻¹² mbar |
| 감도(N₂, 대표값) | IE414 17 mbar⁻¹, IE514 6.25 mbar⁻¹ |
| 측정 원리 | 열음극 이온화 (IE414 Bayard-Alpert, IE514 Extractor) |
| 최대 베이크아웃 | 400 °C (플러그 제외), 플랜지 최대 250 °C (내열 케이블 세트 사용) |
| 사용 온도 | +20…+80 °C |
| 보관온도 | +20…+50 °C |
| 치수 | IE414 높이 90 mm, IE514 98 mm (ø69.4 CF 플랜지) |